| 双光束补偿扫描系统 |
| System of scanning by Dual-laser beam Compensation |
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| 中文摘要: |
| 提出一种新的高精度大型平面扫描仪。利用双光束补偿系统，扫描头由一特殊光路组成。当入射光通过此光路后，产生对称输出的两束光。当入射光发生角漂或扫描头发生摆动时，输出的两束光对称上下漂移，其中心线保持不变，故扫描形成的基准面保持不变，从而大大提高了测量精度。经实验证明，测量精度优于2．5×10－6。 |
| 英文摘要: |
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| 刘兴占 梁晋文 |
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| 中文关键词: 双光束补偿,准直,大平面,扫描仪,平面度 |
| 英文关键词:Duel-laser beam comrensation,Collimator, Large plate, Scanning, Flatness |
| 基金项目: |
| DOI： |
| 引用本文：刘兴占,梁晋文.双光束补偿扫描系统[J].计测技术,1998,(4):5~7,14. |
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