| 谐振式微机械惯性传感器 |
| The Overview of Resonant Micro Inertial Sensors |
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| 中文摘要: |
| 对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述，分析了各自的应用特点。从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性，必有广阔的应用和发展前景。 |
| 英文摘要: |
| This paper chiefly describes the structure, operational principle of several typical resonant acceleration microsensors and microgyroscopes, and analyzes their application features. It can be shown that the resonant micro inertial sensors have excellent characteristics, spacious application and development prospect. |
| 樊尚春 肖志敏 张庆荣 |
北京航空航天大学仪器学院测控系 北京100083
(樊尚春，肖志敏)
，北京航空航天大学仪器学院测控系 北京100083(张庆荣)
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| 中文关键词: 谐振式 微机械惯性传感器 加速度微传感器 微陀螺 |
| 英文关键词:resonant,micro inertial sensor,acceleration microsensor,microgyroscope |
| 基金项目:国家自然科学基金资助项目(50275009)，航空科学基金资助项目(02I51018) |
| DOI： |
| 引用本文：樊尚春,肖志敏,张庆荣.谐振式微机械惯性传感器[J].计测技术,2005,25(2):1~4,45. |
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