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雷尼绍推出全新轻型激光干涉仪测量系统XL-80

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中文摘要:

在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来，随着自动化位移系统性能的大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。[第一段]

英文摘要:

中文关键词: 干涉仪测量系统激光干涉仪轻型位移系统激光系统超精密自动化加工业

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引用本文：.雷尼绍推出全新轻型激光干涉仪测量系统XL-80[J].计测技术,2007,27(2):54.