| 基于全息激光技术的纳米级分辨力位移传感器设计 |
| Design of Displacement Sensor with Nanometer Resolution Based on Hologram-laser Technique |
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| 中文摘要: |
| 介绍了一种新型的基于全患激光技术的纳米位移传感器.全息激光技术最早广泛应用在CD,DVD等系统中,用以读取光盘信息,并对光盘进行寻迹、聚焦等.文中以采用全息激光技术的全患激光头为核心器件,结合少量光学元件,设计出一种纳米分辨力级位移传感器,并通过实验验证了设计结果. |
| 英文摘要: |
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| 焦小康 孙忠辉 朱振宇 万宇 王霁 |
焦小康,朱振宇,万宇,王霁(中航工业北京长城计量测试技术研究所,北京,100095)
;孙忠辉(第三十一实验训练基地,吉林,白城,137000)
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| 中文关键词: 全息激光技术 位移传感器 纳米测量 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| DOI：10.11823/hkjcjs.1674-5795.2010.30.3.058. |
| 引用本文：焦小康,孙忠辉,朱振宇,万宇,王霁.基于全息激光技术的纳米级分辨力位移传感器设计[J].计测技术,2010,30(3):16~18. |
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