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MEMS加速度传感器计量检测技术的研究进展

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中文摘要:

MEMS加速度传感器在计量检测中有着广泛的应用。本文综述了MEMS加速度传感器的发展概况,总结了其分类方法、工作原理及特点,并提出发展趋势。

英文摘要:

刘宇鞠文斌刘羽熙

[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001 [2]哈尔滨工业大学,黑龙江哈尔滨150001

中文关键词: MEMS加速度传感器计量检测研究进展

英文关键词:

基金项目:

DOI：10.11823/hkjcjs.1674-5795.2010.30.4.083.

引用本文：刘宇,鞠文斌,刘羽熙.MEMS加速度传感器计量检测技术的研究进展[J].计测技术,2010,30(4):5~8.