| 平面等厚干涉仪中标准平晶平面度检定的误差分析 |
| Error Analysis of Standard Flat Crystal Flatness Verification in Plane Equal Thickness Interferometer |
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| 周铁 |
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| 中文关键词: 光学仪器 干涉仪 等厚干涉仪 |
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| DOI： |
| 引用本文：周铁.平面等厚干涉仪中标准平晶平面度检定的误差分析[J].计测技术,1989,(1):17~20,6. |
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