等倾干涉分段法求取研磨面平尺平面度误差的测量与计算
  
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张泰昌
中文关键词:  等倾干涉法 平尺 不平度 误差 测量
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引用本文:张泰昌.等倾干涉分段法求取研磨面平尺平面度误差的测量与计算[J].计测技术,1991,(4):23~26.
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