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接触式激光干涉仪的数据采集与处理系统

Data Acquisition and Processing System of Contact Type of Laser Interferometers

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中文摘要:

讨论了接触式激光干涉议的数据采集与处理系统，其特点是性能稳定，操作灵活。实验证明，该系统满足仪器分辨率为0．01μm，重复性误差在0．03μm以内的要求。

英文摘要:

浦昭邦范志刚

哈尔滨工业大学!黑龙江省哈尔滨市150006

中文关键词: 激光干涉仪数据采集微机数据处理干涉仪

英文关键词:Laser interferometer, Data acquisition and processing,Microcomputer

基金项目:

DOI：

引用本文：浦昭邦,范志刚.接触式激光干涉仪的数据采集与处理系统[J].计测技术,1994,(3):3~6.