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光纤外差干涉位移传感器

Optical Fiber Heterodyne Interferometry Displacement Sensor

中文摘要:

非接触式光纤外差干涉位移传感器是将半导体激光器线性调频技术和光纤传感技术相结合制成的1种新型外差干涉仪。它的位移测量范围可达26mm，分辨率为0．02μm；对不同材料、不同粗糙度的对象面，有着几乎相同的测量灵敏度和测量精度；探头和对象面无需严格垂直。

英文摘要:

章恩耀唐东雷

清华大学精密仪器系!北京市，100084(章恩耀，田芊，李建军，梁晋文)
，日本东京工业大学精密工学研究所(唐东雷，下河边明)

中文关键词: 半导体激光器光纤调频外差干涉传感器

基金项目:

DOI：

引用本文：章恩耀,唐东雷.光纤外差干涉位移传感器[J].计测技术,1994,(6):4~8,16.