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新型声表面波气体传感器

A New Type of Surface Acoustic Wave Gas Sensors

中文摘要:

介绍了声表面波（SAW）气体传感器的工作原理及器件制作，提出了1种表面波SO2传感器，它采用三乙醇胺（TEA）覆盖薄膜，分辨率可达70×10－9。还讨论了SAW气体传感器的稳定性、可靠性、灵敏度及选择性等问题，并给出了有关的实验结果。

英文摘要:

刘国锋陈明

西北工业大学9系!陕西省西安市，710072

中文关键词: 声表面波气体传感器延迟线振荡器

基金项目:

DOI：

引用本文：刘国锋,陈明.新型声表面波气体传感器[J].计测技术,1995,(3):5~8.