纳米计量与分子坐标测量机系统设计(1) |
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中文摘要: |
从纳米计量学与纳米计量测试的基本概念和基本要求出发,参考有关国外文献,编译了这篇文章,介绍纳米计量学和分子坐标测量机的研究成果。对从事这方面研究的科研人员具有一定的参考价值。文章中首先讨论纳米计量学的概念及其测量不确定度标准,实现,纳米计量的手段-建立分子坐标测量机;叙述了分子测量机设计概念和原则;并于分子测量机机械设计,主要讨论了隔离机械振动,热源,声振动等,二维导轨结构,探针安装结构选择等;计 |
英文摘要: |
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王佳 |
清华大学精密仪器系!北京市,100084 |
中文关键词: 纳米计量学 分子坐标测量机 标定 |
英文关键词: |
基金项目: |
DOI: |
引用本文:王佳.纳米计量与分子坐标测量机系统设计(1)[J].计测技术,1996,(2):37~40. |
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