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激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量

Applying Laser Fibre Optic Vibrometer to Measuring Vibration Characteristics of Microcantilever and AFM Probe

中文摘要:

激光光纤测振仪将直径小于200μm的激光光斑会聚于Si微悬臂梁和AFM探针上，分别由静电场和PZT进行激振，实现了激光微结构振动特性非接触测量，并给出了测量结果。

英文摘要:

王佳

清华大学精密仪器系!北京市，100084

中文关键词: 激光测振仪微梁 AFM探针光纤测振振动特性

基金项目:

DOI：

引用本文：王佳.激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量[J].计测技术,1996,(3):3~6.