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表面粗糙度干涉图像处理系统

Surfiace Roughness Interferogram Processing System

中文摘要:

介绍了表面粗糙度干涉图像处理和该系统以静态干涉图像处理技术对表面粗糙度检测的过程。该系统通过对一帧白光干涉图像的处理，可对Ｒａ值≤０．２μｍ的多刻线样板，试件表面粗糙度绝对、非接触、快速、自动地测量；该系统通过对白光和纳光二帧干涉图象的联合处理，以白光定位、纳光定度可对沟槽深度Ｈ≤５μｍ的标准单位刻线深度绝对，非接触，准确地测量。

英文摘要:

陈晓梅任冬梅

长城计量测试技术研究所!北京市，100095

中文关键词: 干涉测量图像处理粗糙度测量

英文关键词:Interferometry, Image processing, Surface measurement

基金项目:

DOI：

引用本文：陈晓梅,任冬梅.表面粗糙度干涉图像处理系统[J].计测技术,1997,(3):7~10.

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