| 高精度光栅干涉测量技术及仪器 |
| Grating Interference Measuring Technique and Instrument with High Accuracy |
| 修订日期：1998-11-13 |
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| 中文摘要: |
| 在超精密测量和控制技术中，对测量精度提出了越来越高的要求，如尺寸精度１ｎｍ和角度０．００１。由于光栅具有精度高、抗干扰能力强、寿命长和价格便宜等优点，最近几年光栅干涉测量技术被广泛研究和使用。本文简单介绍几种在超精密测量和制造过程中常用的微纳米光栅干涉测量技术。 |
| 英文摘要: |
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| 李成贵 董申 |
| 北京航空航天大学自动控制系,哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈工大426信箱,150001 |
| 中文关键词: 测量 光栅 激光 干涉仪 |
| 英文关键词:Measurement,Grating,Laser,Interferometer |
| 基金项目: |
| DOI： |
| 引用本文：李成贵,董申.高精度光栅干涉测量技术及仪器[J].计测技术,2000,(1):36~39. |
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