| 表面粗糙度的光学测量方法 |
| Optical Method for Measuring Surface Roughness |
| 修订日期：1999-03-31 |
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| 中文摘要: |
| 表面粗糙度的光学测量方法，具有非接触、精度高和响应快等优点，致使研究十分引人注目，发展极快。本文简单介绍了几种典型的光学测量原理和方法及一些商品化的仪器。 |
| 英文摘要: |
| The optical method of measuring surface roughness has advantages of uncontact,high accuracy and fast response,so the research of that method fixes people's eyes and its development gets very fast.In this paper,several principles and methods of typical optical measurement and some commercialized instruments are presented briefly. |
| 李成贵 董申 |
| 哈尔滨工业大学精密工程研究所!黑龙江省哈尔滨市，150001，哈尔滨工业大学精密工程研究所!黑龙江省哈尔滨市，150001 |
| 中文关键词: 表面粗糙度 光学测量 散射光强对比 激光散射 |
| 英文关键词:Surface roughness,Measurement,Optical method |
| 基金项目: |
| DOI： |
| 引用本文：李成贵,董申.表面粗糙度的光学测量方法[J].计测技术,2000,(2):28~32. |
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