| 一种激光干涉仪外部测量触发电路 |
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| 投稿时间：2005-02-25 |
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| 中文摘要: |
| 激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用。在使用激光干涉仪（以Agilent5529A激光动态干涉校准仪为例）测量工件的实际尺寸（长度）时，需要用测头去探触工件，以取得工件的实际位置，因此需要有一触发装置，来感知测头是否探触了工件。本文设计了一个触发电路，能够使激光干涉仪实现这一功能。 |
| 英文摘要: |
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| 刘宁 |
| 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072 |
| 中文关键词: 激光干涉仪 测量精度 触发电路 实际尺寸 触发装置 工件 校准仪 测头 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| DOI： |
| 引用本文：刘宁.一种激光干涉仪外部测量触发电路[J].计测技术,2005,25(4):52~52,54. |
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