氪气和氙气中四氟化碳杂质分析 |
CF4 Impurity Analysis in Krypton Gas and Xenon Gas |
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中文摘要: |
介绍了CF4定性定量分析方法,探讨了CF4的来源及清除. |
英文摘要: |
In this article, the qualitative and quantitative analysis of CF4 are introduced, as well as the source and elimination of CF4 are discussed. |
温舜德 邓立新 |
武钢氧气有限责任公司,湖北,武汉,430083 |
中文关键词: 氪气 氙气 CF4 分析 |
英文关键词:krypton gas xenon gas CF1 analysis |
基金项目: |
DOI: |
引用本文:温舜德,邓立新.氪气和氙气中四氟化碳杂质分析[J].计测技术,2005,25(5):17~18. |
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