| 几种高纯气体中微量氧的测定方法 |
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| 中文摘要: |
| 在人类所处的大气环境中,氧占20.95%,氧气无处不在,无孔不入.如何控制和防范氧的干扰成为化工、冶金、电子等行业所必须面对的问题.若保护气中氧含量过高,会使化工产品出现质量问题,甚至发生安全事故;在电子器件制造过程中,氧含量过高会造成器件性能退化,寿命缩短. |
| 英文摘要: |
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| 王艳 王津文 |
| 中国石油化工公司天津分公司,天津,300100 |
| 中文关键词: 微量氧 测定方法 高纯气体 电子器件 化工产品 大气环境 质量问题 安全事故 制造过程 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| DOI： |
| 引用本文：王艳,王津文.几种高纯气体中微量氧的测定方法[J].计测技术,2005,25(5):22~23. |
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