| 电容式多孔硅湿敏元件初探 |
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| 中文摘要: |
| 阐述了电容式多孔硅湿敏元件的制备方法,并且研究了它的湿敏特性.实验结果表明:电容式多孔硅湿敏元件的电容值随着湿度的增大而显著增大,在中湿区(43.16%RH～68.86%RH)容湿特性为线性,而且有较小的湿滞. |
| 英文摘要: |
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| 涂楚辙 杨勇兵 贾振红 黄晓辉 李新刚 向梅 |
| 新疆大学信息科学与工程学院，喀什师范学院物理系，新疆大学信息科学与工程学院，新疆大学信息科学与工程学院，新疆大学信息科学与工程学院，新疆大学信息科学与工程学院 新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 喀什 844000，新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 乌鲁木齐 830046 |
| 中文关键词: 多孔硅湿敏元件 湿敏特性 湿滞 |
| 英文关键词: |
| 基金项目:国家自然科学基金 |
| DOI： |
| 引用本文：涂楚辙,杨勇兵,贾振红,黄晓辉,李新刚,向梅.电容式多孔硅湿敏元件初探[J].计测技术,2006,26(Z1):62~64. |
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