| 粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件 |
| Powder Sputtering Plane Thin-film SnO2/CeO2 Alcohol Sensor |
| |
| HTML 查看全文 查看/发表评论 下载PDF阅读器 |
| 中文摘要: |
| 介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果. |
| 英文摘要: |
| The technics of two kinds of thin film gas sensors made by powder sputtering are introduced. The structure and the experimental results of basic parameters are given in this paper. |
| 刘晓健 曲鲁 李东华 卫东 裘南畹 |
| 济南半导体研究所，济南半导体研究所，济南半导体研究所，济南半导体研究所，山东大学 山东 济南 250014，山东 济南 250014，山东 济南 250014，山东 济南 250014，山东 济南 250061 |
| 中文关键词: 粉末溅射 薄膜 酒敏元件 |
| 英文关键词:powder sputter,thin film,alcohol sensor |
| 基金项目: |
| DOI： |
| 引用本文：刘晓健,曲鲁,李东华,卫东,裘南畹.粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件[J].计测技术,2006,26(Z1):71~74. |
| 关闭 |
