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NIST检测氦离子显微镜技术

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中文摘要:

美国国家标准和技术研究院（NIST）的研究人员正在检测最新的显微镜技术。该技术能够进一步提高纳米级物体测量的精确度，而更精确的纳米级测量对半导体和纳米制造业确定标准和改进产品具有十分重要的意义：

英文摘要:

中文关键词: 显微镜技术 NIST 检测氦离子美国国家标准纳米级测量研究人员物体测量

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引用本文：.NIST检测氦离子显微镜技术[J].计测技术,2008,28(5):.