| 基于不同光路仪器的平晶表面形状判断方法探讨 |
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| 中文摘要: |
| 讨论了在不同光路的仪器上,平晶表面形状的判断方法.具体分析了加压分析判断法的应用技巧,了解其原理,灵活运用;说明了阶跃温升法的通用性,介绍了该方法对于一级平晶表面形状判断的优势;介绍了试测分析判断法的参考价值,说明其适用范围. |
| 英文摘要: |
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| 宫美望 |
| 青岛市计量测试所,山东,青岛,266071
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| 中文关键词: 平晶表面形状 加压分析判断法 阶跃温升法 平面等厚干涉仪 激光平面等厚干涉仪 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| DOI： |
| 引用本文：宫美望.基于不同光路仪器的平晶表面形状判断方法探讨[J].计测技术,2009,29(1):. |
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