| 浅谈扩散炉温度测量方法 |
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| 中文摘要: |
| 介绍了扩散炉的温度测量方法,并对扩散炉进行现场测量,通过测量结果对扩散炉温度控制系统进行修正,从而保证了扩散炉性能的稳定可靠. |
| 英文摘要: |
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| 杨桦 杨锦杰 |
杨桦(中国电子科技集团公司第二十四研究所,重庆,400060)
;杨锦杰(国防科技工业5012二级计量站,重庆,400023)
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| 中文关键词: 扩散炉 温度 测量 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| DOI： |
| 引用本文：杨桦,杨锦杰.浅谈扩散炉温度测量方法[J].计测技术,2009,29(3):. |
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