接触式干涉仪技术改造 |
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中文摘要: |
介绍了一种接触式干涉仪数字化改造的方法.改造后的接触式干涉仪采用高精度电感式位移传感器采集数据,由计算机直接输出测量报告;减少了人为的读数误差和对线误差,具有测量精度高、测量速度快、操作简单易掌握等优点. |
英文摘要: |
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何学军 张志权 |
中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京,100095? |
中文关键词: 接触式干涉仪 电感式位移传感器 计算机 高精度 |
英文关键词: |
基金项目: |
DOI: |
引用本文:何学军,张志权.接触式干涉仪技术改造[J].计测技术,2009,29(4):53~54. |
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